、安全且不受天气影响的地方存储。钢瓶应直立摆放。且保持保护性阀盖和输出阀的密封完好。
。储存区域内不应有火源，储存区内所有电器必须有防爆设施。易燃物存放区应与氧及氧化物存放区最少相距20ft 。
，以保证能耐火半小时。储存区和使用区内应有“严禁吸烟和使用明火”的告示牌。
。所有的操作都应这样进行——若发生泄漏，处理紧急状况的人能立即赶到。
，用红外/紫外监测器监测火灾 。所以的监测器都应有内锁，一经发现问题立即自动切断硅烷气源。
，只允许使用非填压的膜阀和波纹管阀。在其分配系统中应安装过流阀或过流开关。这样做才能够在下游管线发生爆炸时切断气源。这个开关阀应安装得离气源越近越好。
、滚动或滑动容器。用合适的手推车来移动容器，别妄图抓住气瓶的盖子来拎起它。保证气瓶在使用的全过程中为固定状态。
，应缓慢仔细地打开钢瓶阀。如果使用者在操作气瓶阀时有困难，需不再使用，并与供应商联系。
，硅烷与它们剧烈反应。应仔细吹扫系统，以防残留有脱脂剂，其中所含的卤素或其他含氯的碳氢化合物。
，应使用抽真空或惰性气体吹扫的方法将系统中的空气吹扫干净。在打开任何装有硅烷的系统之前必须用惰性气体全面吹扫系统。如果系统中的任何部分有死角或可能残留硅烷的地方，必须抽真空循环吹扫。
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