网站主页化工产品目录有机质料有机硅化合物双(二乙基氨基)硅烷
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Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM
本文介绍了一种由双(二乙基氨基)硅烷精制得高纯度双(二乙基氨基)硅烷的办法,该办法可以得到体积分数99.999%的产品。
双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作为ALD膜的前驱体资料。现在作为二烷基氨基硅烷的制作办法,在由氯硅烷与二烷基胺的反响而组成的办法中,除了方针二烷基氨基硅烷以外,还很多副产二烷基胺的盐酸盐,因此在取得方针二烷基氨基硅烷时,需避免因为很多溶剂所形成
双(二乙氨基)二氢硅烷;双(二乙基氨基)硅烷;双(二乙氨基)硅烷;N,N,N,N-四乙基硅烷二胺
SilanediaMide, N,N,N,N-tetraethyl;BIS(DIETHYLAMINO)SILANE;BDEAS;Bis(diethylamino) Silane Liquid;Bis(diethylaMino)silane, 97% BDEAS;Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM;BDEAS: SiH2[N(CH2CH3)2]2;bis(diethylamino)dihydrosilane
8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
现在作为二烷基氨基硅烷的制作办法,在由氯硅烷与二烷基胺的反响而组成的办法中,除了方针二烷基氨基硅烷以外,还很多副产二烷基胺的盐酸盐,因此在取得方针二烷基氨基硅烷时,需避免因为很多溶剂所形成的体积功率下降,然后廉价地很多制作。 作为使二烷基胺与氯硅烷反响时的溶剂,运用关于反响中所副产的二烷基胺的盐酸盐及金属氯化物而言溶解度高的非质子极性溶剂,及二烷基氨基硅烷的溶解度高、难以溶解卤素化合物的直链状烃或分支状烃,藉此可体积功率高地制作卤素含量少的二烷基氨基硅烷。进行精馏,此可取得卤素含量(氯)成分低的高品质的二烷基氨基硅烷。现有专利及文献技术所运用双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)精制,大多运用精馏方法,双(二乙基氨基)硅烷纯度难以超越99.99%。
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