在常温常压下为无色通明气体，具有刺激性气味。d4－250.686，熔点－132．5℃，沸点－14．5℃，它具有与硅烷相似的化学性质，比硅烷不安稳，反响性比硅烷更强。在光照或室温缓慢分解成硅烷和氢，在光照下也可分解。在空气中自燃，浓度在0.2％以上时焚烧会宣布火焰，浓度低于0.2％时，则产生氧化反响生成白色的二氧化硅。与卤素气体产生爆破性地反响，但如果是在低温，则适度地进行卤化。与六氟化硫触摸则爆破。与四氯化碳和氯仿剧烈反响。乙硅烷比硅烷更不安稳，应愈加当心。
1.选用硅烷质料气，经流量计进入放电管，在恰当温度、频率和电压下，得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气，将混合气在不同的冷却条件下进行吸收，除掉杂质，可得高纯乙硅烷。
2.甲硅烷经辉光放电后聚合生成高档硅烷，用液氮冷却收回，选用低温精馏法除掉氢和甲硅烷即可。
3.选用硅烷质料气，经质量流量计进入放电管，在恰当温度、频率和电压下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气，混合气在不同的冷却条件下进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。
1.用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延生长、氧化膜、氮化膜、化学气相堆积等方面。在太阳能电池出产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的堆积速度快得多，且温度可下降200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，作用显着好于用其他气体作离子源。
2.在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。
3.本品可用于太阳能电池出产、分子束外延和离子注入等技能。在太阳能电池出产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的堆积速度快得多，且温度可下降200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，作用显着好于用其他气体作离子源。
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