甲烷：是结构最简略的碳氢化合物。广泛存在于天然气、沼气、煤矿坑井气之中，是优质气体燃料，也是制作合成气和许多化工产品的重要质料。从分子的层面上来说，甲烷是一种比二氧化碳愈加活泼的温室气体，但它在大气中数量较少。
硅烷：为一种供给硅组分的气体源，可用来制作高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能完成精密操控，已成为许多其他硅源没有任何办法替代的重要特种气体。
辨别甲烷和甲硅烷办法：甲烷与氧气反响生成二氧化碳和水，则甲硅烷与氧气反响生成二氧化硅和水。
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